Таблица 32-01-022. Оборудование для вплавления и диффузии

• 32-01-022-01 — Установка ионно-лучевая, масса: 3,2 т
• 32-01-022-02 — Установка ионно-лучевая, масса: 4,0 т
• 32-01-022-03 — Установка ионно-лучевая, масса: 5,5 т
• 32-01-022-04 — Система диффузионная однозонная многотрубная