Нормы ФСНБ-2022 › Сборник 32 — Оборудование предприятий электронной промышленности и промышленности средств связиТаблица 32-01-023. Прочее термическое оборудование32-01-023-01 — Установка: спекания микроканальных блоков с размерами сечения до 70х90 мм32-01-023-02 — Установка: выращивания кристаллов