Нормы ФСНБ-2022 › Сборник 32 — Оборудование предприятий электронной промышленности и промышленности средств связиТаблица 32-01-050. Оборудование для обработки металлических деталей и кремниевых пластин32-01-050-01 — Полуавтомат для резки полупроводниковых пластин32-01-050-02 — Агрегат автоматизированный резки слитков на пластины