Таблица 32-01-071. Оборудование для химической обработки поверхности

• 32-01-071-01 — Установка химического травления: многожильных жестких световодов
• 32-01-071-02 — Установка химического травления: заготовок микроканальных пластин автоматическая
• 32-01-071-03 — Установка химической очистки заготовок микроканальных пластин, автоматическая
• 32-01-071-04 — Автомат плазмохимического удаления фоторезиста