Таблица 32-01-101. Оборудование для контроля
- 32-01-101-01 — Установка визуального контроля качества проявления и качества поверхности полупроводниковых пластин
- 32-01-101-02 — Машина для определения глубины залегания Р-П перехода
- 32-01-101-03 — Установка функционального контроля
- 32-01-101-04 — Установка двухпозиционная для визуального контроля масок
- 32-01-101-05 — Установка контроля сферы маски
- 32-01-101-06 — Система параметрического функционального контроля полупроводниковых ЗУ и БИС микропроцессоров
- 32-01-101-07 — Установка контроля прозрачности сферизованных масок ЦЭЛТ
- 32-01-101-08 — Система контроля микроканальных пластин по структурным параметрам лазерная с управлением от ЭВМ
- 32-01-101-09 — Установка контроля параметров: микроканальных пластин
- 32-01-101-10 — Установка контроля параметров: катодолюминофоров