Таблица 32-02-011. Оборудование для нанесения и получения рисунка схемы на местах

• 32-02-011-01 — Установка для нанесения фоторезиста
• 32-02-011-02 — Установка экспонирования, масса: 0,46 т
• 32-02-011-03 — Установка экспонирования, масса: 0,65 т
• 32-02-011-04 — Установка экспонирования сетчатых трафаретов
• 32-02-011-05 — Установка проявления трафаретных форм
• 32-02-011-06 — Линия проявления СПФ
• 32-02-011-07 — Установка проявления СПФ
• 32-02-011-08 — Установка ультрафиолетового отверждения
• 32-02-011-09 — Установка для снятия фоторезиста
• 32-02-011-10 — Линия снятия фоторезиста
• 32-02-011-11 — Установка снятия СПФ